1 .一種石墨盤(pán)檢測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括：
拍攝石墨盤(pán)的表面，得到所述石墨盤(pán)的表面圖像；
根據(jù)所述石墨盤(pán)的表面圖像判斷所述石墨盤(pán)的表面是否存在破損；
當(dāng)所述石墨盤(pán)的表面不存在破損時(shí)，根據(jù)所述石墨盤(pán)的表面圖像判斷所述石墨盤(pán)的表
面是否存在色差；
當(dāng)所述石墨盤(pán)的表面不存在色差時(shí)，對(duì)所述石墨盤(pán)進(jìn)行超聲波掃描，得到所述石墨盤(pán)
的反射率；
根據(jù)所述石墨盤(pán)的反射率對(duì)所述石墨盤(pán)進(jìn)行分類(lèi)，同一外延生長(zhǎng)設(shè)備采用同一類(lèi)所述
石墨盤(pán)進(jìn)行外延生長(zhǎng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述拍攝石墨盤(pán)的表面，得到所述石墨盤(pán)
的表面圖像，包括：
將所述石墨盤(pán)的表面分為多個(gè)區(qū)域；
依次拍攝所述石墨盤(pán)的表面的多個(gè)區(qū)域，得到多張所述石墨盤(pán)的表面圖像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述石墨盤(pán)的表面圖像判斷所述
石墨盤(pán)的表面是否存在破損，包括：
顯示所述石墨盤(pán)的表面圖像； 接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石
墨盤(pán)的表面是否存在破損；
或者，所述根據(jù)所述石墨盤(pán)的表面圖像判斷所述石墨盤(pán)的表面是否存在破損，包括：
將所述石墨盤(pán)的表面圖像輸入預(yù)定的分類(lèi)器，根據(jù)所述分類(lèi)器的結(jié)果確定所述石墨盤(pán)
的表面是否存在破損。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述石墨盤(pán)的表面圖像
判斷所述石墨盤(pán)的表面是否存在色差，包括：
將所述石墨盤(pán)的表面圖像分為多個(gè)區(qū)域；
計(jì)算每個(gè)區(qū)域的平均灰階值；
計(jì)算任意兩個(gè)相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值；
當(dāng)存在任意兩個(gè)相鄰區(qū)域的平均灰階值的差值大于閾值時(shí)，確定所述石墨盤(pán)的表面存
在色差。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述對(duì)所述石墨盤(pán)進(jìn)行超聲波掃
描，得到所述石墨盤(pán)的反射率，包括：
發(fā)射超聲波；
接收經(jīng)過(guò)所述石墨盤(pán)反射回的超聲波；
根據(jù)發(fā)射的超聲波的強(qiáng)度和反射回的超聲波的強(qiáng)度，確定所述石墨盤(pán)的反射率